薄膜產(chǎn)品生產(chǎn)反應釜電加熱防爆導熱油爐「歐能機械」

案例介紹

微電子材料制造企業(yè)的生產(chǎn)線以反應釜為核心設備，主要用于生產(chǎn)高性能薄膜。由于生產(chǎn)過程中涉及易燃易爆的化學物質(zhì)，生產(chǎn)區(qū)域被劃分為防爆區(qū)域。此前客戶使用的非防爆型導熱油爐已無法滿足安全要求，當?shù)劐仚z局要求進行設備改造，確保符合防爆標準。

客戶的主要控溫對象是反應釜及其連接的管路系統(tǒng)。反應釜內(nèi)的化學反應對溫度波動極為敏感，要求控溫精度在±1℃以內(nèi)。由于反應釜體積較大，導熱油爐需要具備快速升溫和大流量循環(huán)的能力，以確保反應釜內(nèi)溫度均勻分布。

針對客戶的需求，為其配備了兩臺180KW的電加熱防爆導熱油爐。該機型采用正壓防爆設計，完全符合防爆區(qū)域的安全標準。導熱油爐的加熱功率為180KW，配備5.5KW的循環(huán)泵，揚程達到50米，能夠滿足大流量循環(huán)的需求，確保導熱油的高效輸送。

為了節(jié)省空間，設備采用撬裝設計，將加熱系統(tǒng)、循環(huán)泵和控制系統(tǒng)集成在一個緊湊的模塊中，便于安裝和維護。導熱油爐的控溫精度達到±0.5℃，遠超客戶要求的±1℃，確保了反應釜內(nèi)溫度的穩(wěn)定性和均勻性。

改造后的電加熱防爆導熱油爐完全滿足了客戶的工藝需求。設備運行穩(wěn)定，溫度控制精度高，反應釜內(nèi)的化學反應更加均勻，薄膜產(chǎn)品的質(zhì)量顯著提升。